1.各尺寸圆片、方片(直接接触靶材配合下部用大尺寸承烧板垫平);
2.使用范围:ITO 靶材烧结用;
3.高纯氧化铝材质,主要用于ITO产品和承烧板的中介介质,确保产品纯度不受污染。
4.双面研磨,平整度有保证。